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一種減少碲鎘汞液相外延材料表面粘液的生長(zhǎng)裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8090688

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專(zhuān)利摘要本發(fā)明公開(kāi)了一種減少碲鎘汞液相外延材料表面粘液的生長(zhǎng)裝置。裝置包括石墨支架、石墨板、石墨滑塊和石墨蓋板,石墨板上有襯底槽和母液收集槽,襯底和墊片疊放在襯底槽內(nèi)。其特征在于通過(guò)控制墊片與襯底的厚度,使其總厚度略小于襯底槽的深度,從而有利于母液刮除并不會(huì)劃傷襯底表面;在石墨板上有一個(gè)母液收集槽,使得生長(zhǎng)結(jié)束后,尚未冷卻的液態(tài)母液可以被有效收集,不會(huì)回流到襯底表面。通過(guò)以上的改進(jìn),可以有效減少外延材料表面的殘留母液。專(zhuān)利說(shuō)明一種減少碲鎘汞液相外延材料表面粘液的生長(zhǎng)裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本發(fā)明涉及碲鎘汞薄膜材料的...
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