技術(shù)編號(hào)：8062150
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及多晶硅設(shè)備領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，涉及一種坩堝罩和坩堝系統(tǒng)。 背景技術(shù)多晶爐鑄錠過(guò)程中須經(jīng)歷抽真空、熔化、結(jié)晶、退火、冷卻五個(gè)階段。其中，熔化階段主要將零散的固體硅料融化成液態(tài)，結(jié)晶階段則通過(guò)一定的方式使多晶硅實(shí)現(xiàn)定向生長(zhǎng)(也稱定向凝固)。在進(jìn)行鑄錠工藝前就需將零散的硅料裝入噴涂好的石英坩堝中，并用石墨護(hù)板固定好，再投入多晶爐中進(jìn)行鑄錠。目前，使用的石英坩堝高度為420mm，投料量約為440kg，鑄出的硅錠高度為270mmj90mm，在熔料階段硅料完全融化時(shí)的液態(tài)高度為 250mm-270mm，相對(duì)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。