技術(shù)編號(hào)：8056642
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及晶片化腐機(jī)，特別涉及化腐機(jī)電控系統(tǒng)。 背景技術(shù)化腐機(jī)是晶片生產(chǎn)加工的設(shè)備，由目前國(guó)內(nèi)使用的從日本進(jìn)口化腐機(jī)，整體性能可以滿足良好，但在實(shí)際使用中發(fā)現(xiàn)，其電控系統(tǒng)仍存在不足，經(jīng)認(rèn)真分析和研究，發(fā)現(xiàn)它的電控系統(tǒng)在程序控制，工藝流程上存在不合理的地方?，F(xiàn)有機(jī)器進(jìn)行化學(xué)腐蝕后流程是對(duì)硅片進(jìn)行水洗，進(jìn)行水洗時(shí)需用水150升?；瘷C(jī)的純水暫存箱的水量是通過電控系統(tǒng)控制的，電控系統(tǒng)包括PLC和傳感器，通過一個(gè)液面?zhèn)鞲衅鱽頊y(cè)量純水液面，液面?zhèn)鞲衅鬟B接PLC，PLC根據(jù)液面數(shù)據(jù)通過換算得到純水暫存箱的儲(chǔ)水量，并...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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