技術編號：8033848
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本發(fā)明涉及由導電物質制成的電阻發(fā)熱體或構成該電阻發(fā)熱體的導電糊，例如，涉及利用該電阻發(fā)熱體的陶瓷加熱器或加熱晶片時采用的電阻發(fā)熱體，以及晶片加熱裝置，該裝置適用于在半導體晶片或在液晶裝置或電路基板等晶片上形成薄膜或用于煅燒上述涂布于晶片上的抗蝕液而形成抗蝕膜工序中。背景技術 通常，在半導體制造設備的生產(chǎn)工藝中，即半導體薄膜成膜、蝕刻、抗蝕膜煅燒處理等過程中，需要加熱器來加熱半導體晶片(以下簡稱晶片)。隨應半導體生產(chǎn)工藝中提出良好的溫控性、半導體元件布線微細化、晶片熱處理溫度的精確等要求，陶瓷加熱器的應用受到...
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