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硬X射線微聚焦多厚度比復(fù)合多層膜Laue透鏡的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):78664

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及高分辨率X射線顯微聚焦元件的研究,屬精密光學(xué)元件研究領(lǐng)域,尤其是涉及一種硬X射線微聚焦多厚度比復(fù)合多層膜Laue透鏡。背景技術(shù)根據(jù)瑞利判據(jù),光源的波長越短,光學(xué)系統(tǒng)的分辨率越高。X射線波長遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于可見光、可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的分辨率。相比軟X射線,硬X射線的能量高、穿透深度大,硬X射線顯微術(shù)能實(shí)現(xiàn)高原子序數(shù)元素的鑒定,并可對(duì)更厚樣品進(jìn)行無損深度檢測(cè)。掃描X射線熒光顯微鏡以及3維層析技術(shù)的發(fā)展使得硬X射線顯微術(shù)在生命、材料、和環(huán)境科學(xué)等領(lǐng)域獲得重要應(yīng)用。X射線顯微成像系統(tǒng)的分辨率由微聚焦光斑的尺寸決定。由于...
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