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Mems傳聲器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7864940

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及傳聲器技術(shù)領(lǐng)域,特別地,涉及一種MEMS傳聲器。背景技術(shù)MEMS麥克風(fēng)是米用微機(jī)電系統(tǒng)(Microelectromechanical Systems,MEMS)工藝制作的microphone。其中,麥克風(fēng)又稱傳聲器。這種新型麥克風(fēng)內(nèi)含兩個(gè)芯片一MEMS芯片和專用集成電路(ASIC)芯片,兩枚芯片封裝在一個(gè)表面貼裝器件封裝體中。MEMS芯片包括一個(gè)剛性穿孔背電極和一片用作電容器的彈性硅膜。該彈性硅膜將聲波轉(zhuǎn)換為電容變化。ASIC芯片用于檢測(cè)電容變化,并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出。MEMS麥克風(fēng)與傳統(tǒng)電容式...
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