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一種集成軌道角動(dòng)量模式發(fā)射器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7805467

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本發(fā)明屬于集成光電子學(xué)和光通信領(lǐng)域,涉及一種集成軌道角動(dòng)量模式發(fā)射器。該集成軌道角動(dòng)量模式發(fā)射器是由襯底、反射鏡結(jié)構(gòu)、有源區(qū)、橫向光場(chǎng)和電場(chǎng)限制層和產(chǎn)生角向螺旋相位分布的相位板集成生長(zhǎng)而成,形成一個(gè)獨(dú)立的集成器件。產(chǎn)生角向螺旋相位分布的相位板可以采用螺旋連續(xù)相位板結(jié)構(gòu)、螺旋階梯相位板結(jié)構(gòu)、叉形衍射光柵相位板結(jié)構(gòu)以及超表面相位板結(jié)構(gòu)等可以提供沿角向呈螺旋相位分布的結(jié)構(gòu)化相位板。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了軌道角動(dòng)量模式發(fā)射器的高度集成和小型化,器件工藝成熟且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單易實(shí)現(xiàn),...
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