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具有改善反射特性的聲反射器的制作方法技術資料下載

技術編號:7544533

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本發(fā)明涉及用于體積聲波諧振器(BAW諧振器)和棧式晶體濾波器(SCF-Filter)的聲反射器,具有至少一個由λ/4層或3λ/4層形成的一個層對,其中每個層對包含具有較低聲阻抗的第一種材料的第一層和具有相對較高聲阻抗的第二種材料的第二層。以聲波工作的體積振蕩器,所謂的FBAR(Thin-Film-Bulk-Acoustic-Resonator薄膜體聲諧振器)或也稱為BAW諧振器,基于壓電基體,該壓電基體在兩個主表面上具有各一個電極。如此的諧振器具有一個諧振...
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