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用于制造電聲部件中的介電層的方法以及電聲部件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7516349

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本發(fā)明涉及與電聲部件相關(guān)的工藝。 背景技術(shù)電聲部件例如作為利用聲表面或者聲體波工作的部件而公知。利用聲表面波工作的部件例如在文獻(xiàn)WO 2006/058579中有所介紹。文獻(xiàn)WO 2007/059740公開了一種利用聲體波工作的部件。另一種電聲部件在文獻(xiàn)WO 2007/085237中有所公開。這些電聲部件的共同之處在于,通常在由壓電材料構(gòu)成的基底上、在與引出的觸點(diǎn)連接的金屬層內(nèi)形成電極結(jié)構(gòu)。電極結(jié)構(gòu)利用由介電材料例如二氧化硅構(gòu)成的層覆蓋。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的任務(wù)...
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該類技術(shù)注重原理思路,無完整電路圖,適合研究學(xué)習(xí)。

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