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壓電致動(dòng)器、可變電容器和光偏轉(zhuǎn)裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7460366

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本發(fā)明的主題涉及壓電致動(dòng)器,具體地說(shuō)涉及適合于執(zhí)行裝置的厚度方向上的平移運(yùn)動(dòng)(Z方向運(yùn)動(dòng))的壓電致動(dòng)器的結(jié)構(gòu)、可變電容器以及包括該結(jié)構(gòu)的光偏轉(zhuǎn)裝置。背景技術(shù)可以在各種應(yīng)用中使用在裝置的厚度方向上執(zhí)行平移運(yùn)動(dòng)(z方向運(yùn)動(dòng))的致動(dòng)器。例如,可以在兩個(gè)平板電極之一中使用這種致動(dòng)器,使得可以利用電極間間隙的變化將致動(dòng)器用作可變電容器。此外,這種致動(dòng)器可以與反光鏡光學(xué)系統(tǒng)結(jié)合,使得可以獲得執(zhí)行進(jìn)入反射鏡部件的光的光路變化的裝置,并且該裝置具有多種應(yīng)用,使得該裝置可以...
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