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半導(dǎo)體器件以及用于制造半導(dǎo)體器件的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7261644

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本發(fā)明涉及。一種半導(dǎo)體器件包括具有第一漂移區(qū)域的第一晶體管以及多個第二晶體管,每個第二晶體管都包括源區(qū)、漏區(qū)和柵電極。第二晶體管串聯(lián)電耦合以便形成電耦合到所述第一晶體管的串聯(lián)電路,所述第一晶體管和所述多個第二晶體管至少部分被設(shè)置在包括掩埋摻雜層的半導(dǎo)體襯底中,其中所述第二晶體管的源區(qū)或漏區(qū)被設(shè)置在所述掩埋摻雜層中。專利說明[0001]本公開涉及半導(dǎo)體器件以及用于制造這樣的半導(dǎo)體器件的方法。背景技術(shù)[0002]功率MOSFET (金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管...
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