技術編號：7260068
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開一種半導體光接收元件，該半導體接收元件包括光接收部分，其設置在半絕緣基板上并具有臺面形狀，所述光接收部分中層疊有多個半導體層；絕緣膜的層疊結構，其設置在光接收部分的側面的一部分上并具有如下結構其中，由氮化硅膜構成的第一絕緣膜、由氮氧化硅膜構成的第二絕緣膜和由氮化硅膜構成的第三絕緣膜彼此接觸地層疊起來；以及樹脂膜，其設置成與光接收部分鄰近，樹脂膜置于第一絕緣膜、第二絕緣膜和第三絕緣膜中的任意兩者之間。專利說明半導體光接收元件[0001]本發(fā)明涉及半...
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