技術(shù)編號:7258308
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了。在一個實施例中,一種封裝半導體器件的方法包括提供第一集成電路管芯,該第一集成電路管芯與包括多個設(shè)置在其上的襯底通孔(TSV)的襯底的第一表面相連接。導體球狀件與襯底的第二表面上的多個TSV中的每個相連接,第二表面與襯底的第一表面相反。第二集成電路管芯與襯底的第二表面相連接,并且模塑料形成在導體球狀件、第二集成電路管芯和襯底的第二表面之上。模塑料被從導體球狀件的頂面上去除,并且導體球狀件的頂面被形成凹部。在導體球狀件的頂面和模塑料上方形成有再分...
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