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制造半導(dǎo)體微或納米線的方法、包括所述微或納米線的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)和制造半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7253927

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本發(fā)明涉及制造用于形成光電結(jié)構(gòu)(10)的至少一個(gè)半導(dǎo)體微或納米線的方法。所述方法包括如此步驟,提供半導(dǎo)體襯底(100)、在所述襯底(100)上形成晶態(tài)的所謂緩沖層(110),所述緩沖層(110)在部分厚度上具有主要由MgxNy形式的氮化鎂構(gòu)成的第一區(qū)(110),所述方法還包括在所述緩沖層上形成至少一個(gè)半導(dǎo)體微或納米線(150)的步驟。本發(fā)明還涉及包括微或納米線(150)的光電結(jié)構(gòu)(10),以及能夠制造所述結(jié)構(gòu)(10)的方法。專利說(shuō)明背景技術(shù)[0001]本技...
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