技術(shù)編號(hào)：7243391
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種，其中制作方法包括首先提供具有目標(biāo)電連接區(qū)域的半導(dǎo)體襯底；接著在所述半導(dǎo)體襯底上形成圖形化的無(wú)定形碳層或光刻膠層，所述圖形化的無(wú)定形碳層或光刻膠層包括垂直相連的第一區(qū)域與第二區(qū)域；之后在所述半導(dǎo)體襯底上形成金屬層；然后回蝕所述金屬層，保留所述圖形化的無(wú)定形碳層或光刻膠層側(cè)墻的所述金屬層，去除其它區(qū)域的所述金屬層，保留的所述金屬層對(duì)應(yīng)目標(biāo)電連接區(qū)域；再接著去除所述圖形化的無(wú)定形碳層或光刻膠層以形成金屬互連線圖案；最后在所述金屬互連線圖案間填充介電材質(zhì)以形...
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