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垂直腔面發(fā)射激光二極管及其制造方法和相關裝置的制作方法技術資料下載

技術編號:7235215

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本發(fā)明涉及一種垂直腔面發(fā)射激光二極管(以下稱為VCSEL)、光 學裝置、光照射裝置、數(shù)據(jù)處理裝置、光發(fā)送裝置、光空間傳輸裝置、 光傳輸系統(tǒng)和用于制造VCSEL的方法。背景技術在諸如光通信或光存儲的中,對VCSEL的興趣日益增加。 VCSEL具有邊緣發(fā)光半導體激光器所不具有的良好特性。例如,VCSEL 的特征在于低閾值電流和低功耗。對于VCSEL,可以容易地獲得圓光斑。 而且,可以在VCSEL位于晶片上的同時進行評價,并且光源可以以二維 陣列布置。通過這些特...
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