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焊料凸塊結(jié)構(gòu)及其制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7232419

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體元件的制作,且特別涉及一種在半導(dǎo)體元件上制作焊料凸塊結(jié)構(gòu)(solder bump structure)的方法。技術(shù)背景凸塊底層金屬(UBM, under bump metallization)已廣泛用在半導(dǎo)體制造 工藝上。半導(dǎo)體制造工藝通常包含在半導(dǎo)體晶圓上進(jìn)行薄膜沉積、圖案化、 摻雜、熱處理等步驟。當(dāng)半導(dǎo)體元件制作完畢后,還包括將晶圓上的半導(dǎo)體 集成電路芯片(ICchip)進(jìn)行測(cè)試、封裝及組裝。芯片倒裝(flip chip)封裝 是一種先...
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