技術(shù)編號(hào)：7220707
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在搬送部周?chē)稍O(shè)置有多個(gè)處理模塊(process module)的聯(lián)機(jī)式(inline-type)處理系統(tǒng)，特別涉及在多臺(tái)或多組處 理模塊中并列進(jìn)行實(shí)質(zhì)上相同處理的處理系統(tǒng)。背景技術(shù)例如集成設(shè)備(cluster tool)是采用下述結(jié)構(gòu)的處理系統(tǒng)其將多 個(gè)處理模塊配置在主搬送室周?chē)?，使得能夠連續(xù)或者同時(shí)進(jìn)行相同或 者不同的處理，典型的是由半導(dǎo)體制造裝置所采用(例如參照J(rèn)P2000-127069A)。在這種集成設(shè)備的處理系統(tǒng)中，各處理模塊包括用于...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。