技術(shù)編號：7212714
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種光刻裝置、一種器件制造方法和由其制造的器件。背景技術(shù) 光刻裝置是可在襯底、通常是襯底的目標(biāo)部分上施加所需圖案的機器。光刻裝置例如可用于集成電路(IC)的制造中。在這種情況下，可采用圖案形成結(jié)構(gòu)來產(chǎn)生將形成于IC的單個層上的電路圖案，該圖案形成結(jié)構(gòu)也稱為掩?；蚍謩澃?。該圖案可被轉(zhuǎn)移到襯底(如硅晶片)上的目標(biāo)部分(例如包括一個或多個管芯)上。圖案的轉(zhuǎn)移通常借助于成像到設(shè)于襯底上的一層輻射敏感材料(抗蝕劑)上來實現(xiàn)。通常來說，單個襯底包含被連續(xù)地形...
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