技術(shù)編號：7209020
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種紅外線傳感器。 背景技術(shù)過去，提出了檢測紅外線(例如，從人體發(fā)射的具有8到12 μ m波長的紅外線)的紅外線傳感器。文獻1(日本專利公開第2576259號)和文獻2(日本專利公開第3287173 號)公開了使用顯微機械加工技術(shù)制造的紅外線傳感器。這種紅外線傳感器包括薄膜形狀的紅外線吸收構(gòu)件和溫度檢測構(gòu)件。紅外線吸收構(gòu)件吸收紅外線，并將吸收的紅外線轉(zhuǎn)化為熱。溫度檢測構(gòu)件測量紅外線吸收構(gòu)件的溫度的改變。在上述文獻1中公開的紅外線傳感器包括硅基片和...
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