技術(shù)編號：72055
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領域本發(fā)明涉及一種原子力顯微鏡檢測頭，用于微/納米材料和器件的納米檢測及計量，尤其涉及一種雙元原子力顯微鏡檢測頭。 背景技術(shù)隨著掃描隧道顯微鏡的發(fā)明，在人類科學研究領域中誕生了一門以0.1～100納米長度為研究對象的前沿科技，這就是納米科技。目前，世界很多國家都在興起對納米技術(shù)的研究。以掃描隧道顯微鏡(STM)與原子力顯微鏡(AFM)為代表的掃描探針顯微鏡(SPM)技術(shù)和納米檢測技術(shù)，以空前的分辨率為人類揭示了一個可見的原子、分子世界，為納米技術(shù)的發(fā)展奠定了重要基礎。而在SPM家族中，又以AFM的應用領域更為...
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