技術編號：7183021
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種導管(conduits)，用于通過線纜，軟管或管道向真空室中的可移動部件提供如電能，水，控制信號和氣體的有用物質。尤其是本發(fā)明涉及在光刻投射裝置(a lithographic projectionapparatus)中采用這種器件，該光刻投射裝置包括用于提供輻射投射射束的輻射系統(tǒng)；用于支撐構圖部件的第一目標臺，所述構圖部件用于根據(jù)理想的圖案對投射射束進行構圖；用于保持基底的第二目標臺；設有第一氣體排出部件的真空室，用于為投射射束(the pr...
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