技術(shù)編號：7152771
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般涉及一種在片狀底物上沉積多層涂層的裝置和其上配置的器件，更具體地說，涉及一種包膜設(shè)備，該設(shè)備對多層涂層進(jìn)行處理，同時(shí)減少可能的各層污染。在包裝對環(huán)境敏感的產(chǎn)品和器件中，已包括了多層涂層，所述包裝用于防止環(huán)境氣體或液體諸如大氣中氧和水蒸汽對產(chǎn)品和器件的滲透，或防止產(chǎn)品或器件處理、輸送、存儲(chǔ)或應(yīng)用中的化學(xué)品對產(chǎn)品和器件的滲透。在一種形式中，這些涂層可用由有機(jī)聚合物層分隔的無機(jī)金屬或金屬氧化物層來構(gòu)成。這些涂層已被描述于例如，U.S.專利6,268,6...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。