技術(shù)編號(hào):7152215
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于對(duì)于多個(gè)被處理基板一起實(shí)施熱處理的縱型熱處理裝置。更具體地說(shuō),本發(fā)明涉及具有在被處理基板從處理室被取出時(shí)遮蔽處理室的加載端口而改良的快門裝置(shutter device)的縱型熱處理裝置。并且,該縱型熱處理裝置典型性地被組裝入半導(dǎo)體處理系統(tǒng)來(lái)使用。這里,所謂半導(dǎo)體處理,意指通過(guò)在半導(dǎo)體晶片和玻璃基板等被處理基板上由規(guī)定圖案形成半導(dǎo)體層、絕緣層、導(dǎo)電層等,對(duì)于該被處理基板上,為了制造包括半導(dǎo)體設(shè)備、連接于半導(dǎo)體設(shè)備的配線、電極等的構(gòu)造物而實(shí)施...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。