技術(shù)編號(hào):7131002
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種用于濕法化學(xué)處理的設(shè)備,以用于借助處理液對(duì)襯底進(jìn)行濕法化學(xué)處理。更準(zhǔn)確地,本實(shí)用新型涉及一種可替換的處理池。背景技術(shù)通常使用容納相應(yīng)處理液的處理池來(lái)對(duì)例如為硅襯底(晶圓)的物體進(jìn)行濕法化學(xué)的處理,所述處理例如涉及對(duì)這種襯底進(jìn)行移除(蝕刻)、覆層或清洗。根據(jù)期望的處理,處理液為蝕刻液、覆層液(例如電解液)、或清洗液。隨后,襯底或者成堆疊狀地弓I入到池中(“批量處理”),或者將所述襯底以連續(xù)式方法運(yùn)輸經(jīng)過(guò)處理液或者沿著處理液運(yùn)輸(“連續(xù)式處理...
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