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肖特基二極管的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7112990

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本實(shí)用新型描述了一種體導(dǎo)電肖特基二極管以及一種用于制造這種肖特基二極管的、優(yōu)選用于在晶圓整片中制造同種二極管的方法。背景技術(shù)原則上肖特基二極管早已例如在EP O 054 655 A2或US 4,398,344中公知。原則上,相對于具有Pn結(jié)的半導(dǎo)體二極管,就肖特基二極管,特別是那些由化合物半導(dǎo)體材料制成的肖特基二極管而言有利的是其特別快的開關(guān)特性,也就是能夠以高頻從正向?qū)ㄟ\(yùn)行過渡到反向截止運(yùn)行的可能性。由此原因,肖特基二極管,包括那些基于硅的肖特基二 極...
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