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提高圖像傳感器滿阱容量與量子效率光電二極管及方法技術資料下載

技術編號:7102444

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本發(fā)明涉及互補金屬氧化物半導體(CMOS)固態(tài)圖像傳感器,特別涉及一種提高CMOS圖像傳感器滿阱容量與量子效率的光電二極管結構及制造方法。具體講,涉及提高圖像傳感器滿講容量與量子效率光電二極管及方法。背景技術近年來,受益于標準CMOS工藝的進步與CMOS制造工藝的不斷改進,CMOS圖像傳感器已經超越CCD圖像傳感器成為固態(tài)圖像傳感器的主流,實現(xiàn)了近年來CMOS圖像傳感器的飛速發(fā)展。在CMOS圖像傳感器領域,借助于背面照射式技術的發(fā)展,像素單元尺寸實現(xiàn)了跨越...
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