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半導(dǎo)體晶圓的支撐腳裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7070048

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本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體晶圓的支撐腳裝置,包括安裝在半導(dǎo)體工藝設(shè)備晶圓傳送系統(tǒng)中晶圓存儲(chǔ)臺(tái)上端的環(huán)形支撐環(huán),安裝在支撐環(huán)圓周上的支撐晶圓的若干支撐腳,其特征在于,所述支撐腳為L(zhǎng)形,其L形豎直部分的上端設(shè)有晶圓支撐面,其L形水平部分與所述支撐環(huán)安裝連接,且所述支撐腳按其L形豎直部分位于外側(cè)、L形水平部分位于內(nèi)側(cè)的向心方向與所述支撐環(huán)安裝連接。本實(shí)用新型的支撐環(huán)整體縮小,既可減小設(shè)備占地面積,又可避免晶圓從支撐環(huán)的內(nèi)徑處落地破碎,并使得晶圓更容易安放平穩(wěn),減...
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