技術(shù)編號(hào)：7065978
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于激光器，具體涉及一種光刻用的單腔雙電極放電腔及包含該放電腔的準(zhǔn)分子激光器，本發(fā)明的放電腔也可應(yīng)用于其它氣體受激勵(lì)產(chǎn)生能量輻射的裝置。背景技術(shù)準(zhǔn)分子激光器是一種面向紫外特征應(yīng)用的常規(guī)氣體激光器，目前被認(rèn)為是用于光刻的最佳光源選擇，是集成電路平板印刷光刻工業(yè)的主力工作光源。傳統(tǒng)的放電激勵(lì)準(zhǔn)分子激光器采用單腔單電極結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。隨著光學(xué)光刻技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，要求光源具有更窄的光譜寬度(線寬)、更高的重復(fù)頻率以及更高的平均功率。 傳統(tǒng)單腔結(jié)構(gòu)很難同時(shí)滿足這三...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。