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帶應(yīng)力保護結(jié)構(gòu)的高可靠性影像傳感器封裝的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7063388

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本發(fā)明公開了一種帶應(yīng)力保護結(jié)構(gòu)的高可靠性影像傳感器封裝,屬于影像傳感器封裝領(lǐng)域。所述的封裝結(jié)構(gòu)包括1.蓋板,在所述蓋板正面制作有空腔結(jié)構(gòu);2.晶圓,其包含晶圓正面和晶圓背面;3.影像傳感區(qū)和焊盤都分布在晶圓正面,其中焊盤分布在影像傳感區(qū)的周邊,并實現(xiàn)導通;4.鍵合膠,位于蓋板和晶圓之間,將二者鍵合在一起;5.在晶圓背面依次制作有鈍化層、金屬層、防焊層,通過上述結(jié)構(gòu)組成的重分布線路層,將晶圓正面的焊盤與晶圓背面的焊球?qū)崿F(xiàn)導通。通過本發(fā)明實施的封裝結(jié)構(gòu),首先,...
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