技術編號：7058740
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開了一種與氧化釩或摻雜氧化釩熱敏薄膜接觸的電極材料及其復合膜系結構制備方法，采用金屬釩納米層修飾的金屬鈦薄膜作為與氧化釩或者摻雜氧化釩熱敏薄膜的引出電極，該電極可以采用上電極或下電極方式與氧化釩或摻雜氧化釩薄膜形成接觸。復合金屬電極制備工藝簡單，且與IC制造工藝及MEMS制造工藝兼容，易于與氧化釩或摻雜氧化釩薄膜接觸形成歐姆接觸特性。專利說明 [0001] 本發(fā)明涉及電極材料，具體涉及一種與氧化釩或者摻雜氧化釩薄膜接觸 的引出電極材料及其復合...
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