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一種產(chǎn)品通孔刻蝕缺陷的檢測(cè)方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7055013

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,首先建立被檢測(cè)產(chǎn)品的通孔導(dǎo)電層測(cè)試模塊,在該測(cè)試模塊上沉積有相互連通的且參考被檢測(cè)產(chǎn)品的圖形結(jié)構(gòu)通孔布局尺寸設(shè)計(jì)的金屬線;在建立測(cè)試模塊的硬掩膜刻蝕工藝中,產(chǎn)品中各通孔在硬掩膜層的各投影所在各區(qū)域之間有光阻進(jìn)行隔離,原來連接各通孔的溝槽結(jié)構(gòu)改進(jìn)為不連續(xù)的溝槽結(jié)構(gòu)或者通孔結(jié)構(gòu);然后進(jìn)行絕緣層通孔刻蝕并在通孔中填銅和平坦化;最后應(yīng)用電子束缺陷掃描儀進(jìn)行檢測(cè);該方法能避免在檢測(cè)刻蝕不足缺陷時(shí)的法拉第杯的影響,同時(shí)也克服了在銅平坦化后不能檢測(cè)到所有通孔缺陷的問題...
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