技術編號：7054999
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開了一種，利用缺陷觀察設備觀察、量取缺陷尺寸比較準確的優(yōu)點，在缺陷觀察設備對選取的若干缺陷的尺寸進行量取后，與缺陷檢測設備建立聯(lián)動，并建立相應的缺陷校正關系，自動校正缺陷檢測設備對缺陷尺寸定義的準確性，使得由缺陷檢測設備測得的缺陷尺寸分布的準確性大大提高，同時又縮短了全部通過缺陷觀察設備量取尺寸的大量時間，有利于大量工程數(shù)據(jù)的分析，在沒有進行缺陷形貌分析前，就可以對晶圓上的缺陷尺寸分布有較好的掌握。專利說明 [0001] 本發(fā)明涉及半導體制造...
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