技術(shù)編號(hào)：7054411
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種磁懸浮式微機(jī)械開關(guān)，包括玻璃襯底、螺旋線圈、懸浮結(jié)構(gòu)體和硅層；硅層鍵合在玻璃襯底的頂面，硅層中設(shè)有空腔；螺旋線圈和懸浮結(jié)構(gòu)體位于空腔中，螺旋線圈連接在玻璃襯底的頂面上，螺旋線圈的頂面設(shè)有一氧化硅層，懸浮結(jié)構(gòu)體置于氧化硅層上方；硅層的頂面設(shè)有帶孔的氧化層，氧化層的頂面設(shè)有相對(duì)的兩根金屬導(dǎo)線；金屬導(dǎo)線、氧化層和硅層靠近內(nèi)腔的一側(cè)呈臺(tái)階狀，且兩根金屬導(dǎo)線之間的距離小于氧化層上的孔的孔徑；懸浮層可向上運(yùn)動(dòng)嵌至在氧化層上的孔中，且懸浮層頂面的兩端與兩...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。