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技術(shù)編號：7051313

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一種，包括如下步驟步驟1在襯底上依次生長n型InAlGaN層、非摻雜或摻雜的多量子阱層、p型InAlGaN層和電流擴展層；步驟2利用光刻和干法刻蝕工藝在電流擴展層上向下刻蝕，刻蝕深度到達n型InAlGaN層內(nèi)，使其形成GaN基LED結(jié)構(gòu)納米孔陣列；步驟3在電流擴展層上面、在GaN基LED結(jié)構(gòu)納米孔陣列的一側(cè)的一部分向下刻蝕，刻蝕深度大于GaN基LED結(jié)構(gòu)納米孔陣列的納米孔的深度，形成臺面；步驟4利用光刻、蒸發(fā)和帶膠剝離工藝，在電流擴展層的一部分上表面制作p...
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