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N溝道和P溝道端對端FinFET單元架構的制作方法技術資料下載

技術編號:7038680

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本發(fā)明的各實施例公開一種N溝道和P溝道端對端FinFET單元架構,這種FinFET塊架構使用端對端FinFET塊。可以將具有第一導電類型的第一集合的半導體鰭和具有第二導電類型的第二集合的半導體鰭端對端地對準。塊間隔離結構將第一和第二集合中的半導體鰭分離。第一集合中的鰭的端部鄰近于塊間隔離結構的第一側,并且該第二集合中的鰭的端部鄰近于塊間隔離結構的第二側。圖案化的柵極導體層包括第一柵極導體,其跨第一集合的半導體鰭中的至少一個鰭延伸;以及第二柵極導體,其跨第二...
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