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單根ZnO微米線同質(zhì)結發(fā)光二極管的制備方法技術資料下載

技術編號:7015628

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本發(fā)明公開一種,是采用簡單的CVD方法通過控制生長時間等參數(shù),首先在襯底上生長一層高取向的未摻雜n型ZnO微米線,然后在其上繼續(xù)生長一層Sb摻雜的p型ZnO微米線,從而制備出ZnO微米線的同質(zhì)結,再從樣品襯底底部剝離出單根的微米線,在其兩端做好電極,所得微米線直徑為10~100μm,長度為1~20mm。不但制備過程簡單、成本低,通過對該器件測試表明該器件具有良好的整流特性和極強的發(fā)光性能。專利說明[0001]本發(fā)明屬于半導體器件領域,具體涉及一種用化學氣相...
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