技術(shù)編號：7010487
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于在半導(dǎo)體基片(通常為硅基片)的熱處理中使用的熱處理爐。背景技術(shù)在現(xiàn)有技術(shù)中，半導(dǎo)體的熱處理通常在以下設(shè)計(jì)的爐中進(jìn)行，以便防止來自周圍空氣、加熱器等的任何污染。如圖4中所示，高純度石英等的爐芯管21 (該爐芯管21提供有在一端處的開口 22和在另一端處的氣體進(jìn)口導(dǎo)管23)布置在預(yù)先安裝于爐中的柱形加熱器24的內(nèi)部。高純度石英等的舟26 (具有置于其上的半導(dǎo)體基片25)通過開口 22而運(yùn)動(dòng)至爐芯管21中并設(shè)置就位。高純度石英等的蓋27關(guān)閉，以...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。