技術(shù)編號：7010198
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明適用于半導(dǎo)體固晶。本發(fā)明公開一種新型焊臂結(jié)構(gòu)，與焊臂連接座固定的焊臂支座，在該焊臂支座的端部設(shè)有滑塊和使滑塊上下滑動(dòng)的氣缸，該滑塊設(shè)有杠桿臂和晶圓吸嘴，設(shè)有收納空腔的托臂與焊臂支座連接，該收納空腔內(nèi)設(shè)有與控制模塊連接的壓力傳感器，在該托臂與杠桿臂之間設(shè)有復(fù)位彈簧。工作時(shí)，由所述壓力傳感器適時(shí)將杠桿臂與托臂之間的壓力反饋給控制模塊，并控制氣缸控制晶圓吸嘴的位置。由于該托臂與焊臂支架固定，杠桿臂與晶圓吸嘴都固定在滑塊上同步移動(dòng)，可以避免在壓力較大時(shí)鍵合損...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。