技術(shù)編號：7006269
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種去離子棒，尤其是一種用于半導體生產(chǎn)中的去離子棒裝置。 背景技術(shù)去離子棒可產(chǎn)生大量的帶有正負電荷的氣團，可以將經(jīng)過它離子輻射區(qū)內(nèi)的物體上所帶有的電荷中和掉。當物體表面所帶為負電荷時，它會吸引輻射區(qū)內(nèi)的正電荷，當物體表面所帶為正電荷時，它會吸引輻射區(qū)內(nèi)的負電荷，從而使物體表面上的靜電被中和，達到消除靜電的目的。半導體生產(chǎn)領(lǐng)域中廣泛的使用去離子棒對半導體設(shè)備進行去離子，為實現(xiàn)去離子的效果，通常去離子棒在凈化間內(nèi)需要均勻布局且擺放高度為2. 8米左右...
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