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實(shí)現(xiàn)大功率橫向低發(fā)散角的半導(dǎo)體激光器結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7002395

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體光電子器件,尤其涉及一種實(shí)現(xiàn)大功率橫向低發(fā)散角的半導(dǎo)體激光器結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)半導(dǎo)體激光器迄今已有近50年的發(fā)展歷史,這期間半導(dǎo)體材料外延技術(shù)、激光器封裝技術(shù)、制冷技術(shù)以及光束的耦合整形技術(shù)都取得了很大的進(jìn)步。無論是國外還是國內(nèi), 都從半導(dǎo)體外延材料、激光器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、激光器工藝制作、器件封裝等方面進(jìn)行了詳盡的研究,已經(jīng)發(fā)展出一套完整成熟的生產(chǎn)制備工藝。高功率、長壽命、高光束質(zhì)量的大功率半導(dǎo)體激光器的研究和應(yīng)用也逐漸成熟。近年來國內(nèi)外對大功率半導(dǎo)...
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