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技術(shù)編號(hào):7001075

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本發(fā)明涉及根據(jù)三維集成(3D集成)技術(shù)制造的多層半導(dǎo)體晶片或結(jié)構(gòu)的領(lǐng)域, 該三維集成技術(shù)包括將由第二晶片構(gòu)成的至少一層轉(zhuǎn)移到稱(chēng)為最終襯底的第一晶片上,所述層對(duì)應(yīng)于第二晶片的一部分,其中例如多個(gè)微元件的元件形成于該部分中,其他相應(yīng)元件也形成于第一晶片中。背景技術(shù)特別地,由于在給定層上出現(xiàn)的微元件的尺寸很小,數(shù)量很大,因此每個(gè)轉(zhuǎn)移層, 也就是說(shuō)每個(gè)包含該層的晶片必須以很高的精度位于最終襯底(第一晶片本身,或已經(jīng)包含其他轉(zhuǎn)移層的第一晶片)上,從而滿足與下面的層嚴(yán)...
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