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極低硅損失高劑量植入剝離的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6991788

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本發(fā)明涉及從工件表面移除或剝離光致抗蝕劑材料并且移除相關(guān)殘留物的方法及設(shè)備。在某些實(shí)施例中,本申請(qǐng)案涉及用于在離子植入或等離子體輔助摻雜植入之后剝離抗蝕劑(低劑量或高劑量植入抗蝕劑)的方法及設(shè)備。背景技術(shù)光致抗蝕劑為在處理期間在工件(例如半導(dǎo)體晶片)上形成經(jīng)圖案化涂層的某些 制造工藝中所使用的感光材料。在使經(jīng)光致抗蝕劑涂覆的表面暴露于高能量輻射的圖案之后,移除所述光致抗蝕劑的一部分以顯露下方的表面,并使剩余表面得以被保護(hù)。在未經(jīng)遮蓋表面及剩余光致抗蝕劑上執(zhí)...
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