技術(shù)編號(hào)：6986101
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造裝置領(lǐng)域，尤其涉及一種化學(xué)制劑處理系統(tǒng)。 背景技術(shù)近年來(lái)，各類型的化學(xué)制劑供給裝置被廣泛應(yīng)用到半導(dǎo)體裝置的生產(chǎn)當(dāng)中?；瘜W(xué)制劑供給裝置可將化學(xué)制劑提供給用于制造半導(dǎo)體裝置的工藝單元，如果提供給處理單元的化學(xué)制劑由于其內(nèi)部成分的變化、細(xì)微分離顆粒的聚集，溫度、流量和壓力等原因而不穩(wěn)定，則半導(dǎo)體裝置可能就有缺陷。因此，就要求有一種化學(xué)制劑供給裝置來(lái)提供穩(wěn)定的化學(xué)制劑。實(shí)用新型內(nèi)容(一)要解決的技術(shù)問題本實(shí)用新型的目的是在不停止生產(chǎn)工藝的情...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。