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用于制造基板的設(shè)備和方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6945078

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本發(fā)明涉及。 背景技術(shù)最近,為了跟上半導(dǎo)體芯片的致密化和信號(hào)傳送速度的提高,愈加需要直接將半導(dǎo)體芯片安裝在基板中的技術(shù)。所以,也需要開(kāi)發(fā)能夠應(yīng)付半導(dǎo)體芯片致密化的高密度和高可靠性的基板。高密度和高可靠性的基板的所需規(guī)格與半導(dǎo)體芯片的規(guī)格緊密相關(guān),并且有很多問(wèn)題需要解決,諸如電路的微型化、極好的電特性、高速信號(hào)傳輸、高可靠性、高功能性等等。響應(yīng)于這些規(guī)格,需要一種在基板中形成微型電路圖案和微型通孔的技術(shù),從而對(duì)這種技術(shù)做了各種研究。而且,為了提高制造基板的生...
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