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紅外雙色碲鎘汞探測器臺面鈍化方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6931370

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本發(fā)明涉及雙色碲鎘汞紅外探測器,尤其涉及一種紅外雙色碲鎘 汞探測器臺面鈍化方法。背景技術(shù)雙色碲鎘汞紅外探測器可以同時(shí)探測兩個(gè)波段的信號,有利于更準(zhǔn)確判斷追蹤目標(biāo),而鈍化技術(shù)是研發(fā)雙色^測器的關(guān)鍵技術(shù)之一 。好的表面鈍化工藝 可以減少碲鎘汞表面損傷,決定碲鎘汞器件表面的界面態(tài),降低器件表面漏電 流。而表面漏電流占碲鎘汞反向飽和電流的主要部分。致密、高阻的鈍化層, 可以很好的降低碲鎘汞器件表面復(fù)合速度和1/f噪聲效應(yīng),提高探測器動態(tài)電阻 和反向擊穿電壓,大大改...
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