技術(shù)編號(hào)：6924935

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本發(fā)明涉及一種方法用以分離單晶體、特別是單晶的盤片或晶片或其部分。本發(fā)明特別涉及這樣一種分離單晶體的方法，其帶有自動(dòng)調(diào)整的裂紋擴(kuò)展的。背景技術(shù)半導(dǎo)材料的單晶的晶片作為基片用于制造微型電子構(gòu)件例如場(chǎng)效應(yīng)的和異雙極 的晶體管或光電子構(gòu)件如激光二極管和發(fā)光二極管。在這些基片上通過不同的方法如CVD、 M0CVD、LPE、MBE來施設(shè)功能層和必要時(shí)精加工或通過在基片內(nèi)離子植入而產(chǎn)生。然后它們 在曝光掩膜的多次使用下完成復(fù)雜的結(jié)構(gòu)化過程。為了各曝光掩膜的定向(調(diào)準(zhǔn))...
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