技術(shù)編號(hào)：6923828
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體用基板處理設(shè)備等中的單晶圓(single-wafer)裝載鎖定 型基板處理設(shè)備。背景技術(shù)傳統(tǒng)地，專利文獻(xiàn)1和2公開了單晶圓基板處理設(shè)備的構(gòu)造示例。在這些專利文獻(xiàn) 所示的基板處理設(shè)備中，多個(gè)處理室經(jīng)由閘式閥被連接到傳送室的周圍，所述傳送室具有 布置在其中的基板傳送機(jī)器手(robot)，而用于將基板傳送到傳送室或者從傳送室傳送基 板的兩個(gè)裝載鎖定室分別經(jīng)由閘式閥被連接到傳送室的周圍。裝載鎖定室是用于將基板逐 個(gè)導(dǎo)入傳送室或者從傳送室逐個(gè)回收...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。