技術(shù)編號：6894677
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般涉及電熔絲(efuse)，更具體地，涉及用作電熔絲的擴(kuò)散 阻檔層。背景技術(shù)在常規(guī)的半導(dǎo)體集成電路(芯片)中，存在能夠被編程以便于確定芯 片的操作模式的電熔絲。因此，需要一種比現(xiàn)有技術(shù)的電熔絲更好的電熔 絲結(jié)構(gòu)(以及其形成方法)。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提供一種電熔絲的制造方法，包括以下步驟在襯底中形成第 一電極；在所述第一電極之上形成電介質(zhì)層；在所述電介質(zhì)層中形成開口， 以便通過所述開口將所述第一電極暴露于周圍環(huán)境；在所述開口的側(cè)壁和 底壁上形成熔絲元件，...
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