技術(shù)編號(hào)：6891582

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本發(fā)明涉及用于在制造作為平板顯示器的驅(qū)動(dòng)元件的薄膜晶體管(TFT)時(shí)使用的非晶硅薄膜的結(jié)晶化的熱處理系統(tǒng)。更詳細(xì)地說(shuō)，本 發(fā)明涉及可以在結(jié)晶化熱處理后加速基板的冷卻速度、從而提高平板 顯示器的生產(chǎn)率的非晶硅薄膜的結(jié)晶化熱處理系統(tǒng)。背景技術(shù)TFT大致分為非晶硅TFT和多晶硅TFT。 TFT的特性通過(guò)電子遷 移率的值來(lái)評(píng)價(jià)。非晶硅TFT的電子遷移率大約為lcm2/Vs、多晶硅 TFT的電子遷移率大約為100cm々Vs左右，因此為了制造高性能的平 板顯示器，優(yōu)選...
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